台積公司落成啟用全球最大的單一晶圓廠房－台積六廠

台灣積體電路製造股份有限公司於今(30)日正式落成啟用，全球最大的單一晶圓廠房－台積六廠。台積六廠座落於南台灣的台南科學園區，其潔淨室區域即有十九萬平方英尺，滿載產能每月約可量產 50,000 片八吋晶圓，其中還包括一條單月產能 4,500 片的十二吋晶圓生產線。落成啟用典禮冠蓋雲集，整個活動在傳統的祥獅獻瑞表演中熱鬧地揭開序幕。

台積六廠擁有最先進的生產及製程技術，初期將以 0.25 微米CMOS製程技術切入，並將陸續導入 0.18 微米至 0.10 微米等更先進的製程技術。預計於民國八十九年年底，產能可提昇至每月 32,000 片八吋晶圓的水準，並可望於民國九十年年底前，能快速提昇產能，達到每月超過 50,000 片八吋晶圓的產出。台積六廠同時肩負著試產十二吋 (300mm) 晶圓的任務，預計隨即將展開裝機作業，明年底前的預期目標則為每月產出4,500 片的十二吋晶圓。

台積公司董事長張忠謀於落成啟用典禮中表示，台積六廠的落成啟用有著非常重要的意義，它不但是全球最大的單一晶圓廠房，也是台南科學園區的第一座專業晶圓代工廠，它能以最先進的製程及服務為台積遍佈全球之客戶提供另一個最高品質的製造服務，更是台積公司一向以「滿足客戶需求」為第一優先的具體承諾。

【背景資料】

台積公司六廠簡介 全球最大的單一晶圓廠房 地址：台南縣善化鎮台南科學園區南科北路一號 台灣積體電路製造股份有限公司最新的一座半導體製造工廠－台積六廠，座落於南台灣的台南科學園區。台積六廠於民國八十六年七月開工動土，八十八年十二月裝機完成並進行試產，八十九年一月成功地試產出第一批晶圓，正式加入了生產行列。 全球最大的單一晶圓廠房：台積六廠為全球最大的單一晶圓廠房，其潔淨室區域即有十九萬平方英尺，約相當四面美式足球場的大小，預計於民國九十年滿載時，將有一千組生產機台，生產及工程人員可達二千名，其他支援人員則超過三百人。 生產產能：預計於民國八十九年年底，可將台積六廠產能提昇至每月量產八吋晶圓 32,000 片的水準，民國九十年則可達每月量產八吋晶圓 50,000 片的滿載產能。預估所需投入的資本支出總額將超過二十億美元。 十二吋晶圓試產：台積六廠同時肩負試產十二吋 (300mm) 晶圓的任務，預計於今年內將展開裝機作業，暫訂目標為每月試產十二吋晶圓 4,500 片。試產成功後，其中所建立的製程開發，機台設定以及生產作業系統等相關技術與知識，都將移轉至台積公司其他的十二吋晶圓廠進行量產。 生產及製程技術：台積六廠是以先進的 0.25 微米 CMOS 製程技術切入，並將陸續導入 0.18 微米至 0.10 微米等更先進的製程技術。台積六廠所使用的都是目前最尖端的科技，包括全掃描成像技術 (all-scanner lithography)，淺溝絕緣技術 (shallow trench isolation)，自動校準矽化鈦和矽化鈷技術 (Titanium/Cobalt Salicide)，化學機械拋光技術 (chemical mechanical polishing)，低電介質材料技術 (low-k dielectrics)與銅導線製程技術 (copper interconnect)等。 產品組合：包括邏輯電路(logic)產品，混合訊號邏輯電路(mixed-signal logic)產品，標準式及內嵌式記憶體(standard and embedded memory)產品。 潔淨室：迷你潔淨空間：潔淨度 Class 0.1 潔淨室本體：潔淨度 Class 100